一、等離子體介紹
1、產(chǎn)品原理
通過(guò)對(duì)工藝氣體施加電場(chǎng)使電離化為等離子體。等離子體的“活性”組分包括：離子、電子、原子、自由活性基團(tuán)、激發(fā)態(tài)的核素（亞穩(wěn)態(tài)）、光子等。等離子處理就是通過(guò)利用這些活性組分的性質(zhì)進(jìn)行氧化、還原、裂解、交聯(lián)和聚合等物理和化學(xué)反應(yīng)改變樣品表面性質(zhì)，從而優(yōu)化材料表面性能，實(shí)現(xiàn)清潔、改性、刻蝕等目的。
2、行業(yè)應(yīng)用

二、產(chǎn)品介紹

1、產(chǎn)品概述
半導(dǎo)體等離子清洗機(jī)(Plasma cleaner)是國(guó)內(nèi)的“數(shù)字化大氣等離子清洗機(jī)”，一款擁有強(qiáng)大的“CPU”的大等離子清洗機(jī)。采用穩(wěn)定性高的移相全橋軟開關(guān)電路，擁有數(shù)字通信及模擬通信兩種數(shù)據(jù)傳輸方式，通過(guò)ARM芯片強(qiáng)大的數(shù)據(jù)處理功能，實(shí)現(xiàn)設(shè)備數(shù)字化控制，客戶產(chǎn)線，可達(dá)到中央控制系統(tǒng)統(tǒng)一監(jiān)控，使清洗效果更穩(wěn)定、更持久，抗干擾性能增強(qiáng)，減低故障率，控制維護(hù)成本，提高產(chǎn)能，有效減低生產(chǎn)成本。

2、產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
（1）數(shù)字化控制，顯示屏顯示，實(shí)時(shí)監(jiān)控，抗干擾強(qiáng)；
（2）具有十余種故障報(bào)警功能，故障排查定位時(shí)間縮短80%以上；
（3）支持RS-485/232數(shù)字通信接口和模擬通信接口，強(qiáng)大的遠(yuǎn)程通信功能；
（4）采用TI品牌的移相全橋軟開關(guān)電路和PFC功率因素校正，相對(duì)模擬硬開關(guān)電路效率可提高10%以上，響應(yīng)時(shí)間小于0.1s，抗干擾性強(qiáng)；
（5）軍工級(jí)硬件設(shè)計(jì)，使用環(huán)境溫度范圍可達(dá)到-25℃-50℃，適應(yīng)不同的嚴(yán)苛場(chǎng)景，MTBF時(shí)間可達(dá)到≥190Khrs MIL-HDBK-217F(25℃)；
（6）搭載ST品牌的ARM芯片，人機(jī)交互簡(jiǎn)單明了，強(qiáng)大的遠(yuǎn)程調(diào)試通訊功能，無(wú)縫對(duì)接任意的應(yīng)用場(chǎng)景，自主研發(fā)的軟件對(duì)實(shí)時(shí)采集的數(shù)據(jù)進(jìn)行智能判斷并協(xié)調(diào)工作，可實(shí)現(xiàn)功率自匹配，穩(wěn)定無(wú)變化；
（7）具有6種檢測(cè)功能：氣壓檢測(cè)、主板溫度檢測(cè)、變壓器弧壓檢測(cè)、變壓器初級(jí)峰值電流檢測(cè)，電網(wǎng)電流檢測(cè)，噴槍轉(zhuǎn)速檢測(cè)；
（8）等離子發(fā)生器同時(shí)支持射流噴槍、旋轉(zhuǎn)噴槍及線性寬幅，一鍵設(shè)置，隨時(shí)變換；
（9）具有過(guò)溫防護(hù)、過(guò)載防護(hù)、短路、斷路、漏電防護(hù)、各種誤操作保護(hù)等防護(hù)功能。

3、產(chǎn)品結(jié)構(gòu)
結(jié)構(gòu)：高壓數(shù)字電源發(fā)生器、等離子發(fā)生裝置噴槍與控制系統(tǒng)組成。
（1）高壓數(shù)字電源發(fā)生器：
等離子體的產(chǎn)生需要高壓激勵(lì)，本產(chǎn)品采用中頻電源進(jìn)行激勵(lì)，數(shù)字化控制方式，可實(shí)現(xiàn)功率自匹配，保證功率的穩(wěn)定輸出，且輸出精度高，輸出功率不受氣壓波動(dòng)，市網(wǎng)電壓波動(dòng)，噴槍電極老化等影響。參數(shù)需根據(jù)樣品實(shí)際情況進(jìn)行調(diào)節(jié)，以便達(dá)到處理效果。
（2）等離子發(fā)生裝置噴槍：
半導(dǎo)體等離子清洗機(jī)搭配高速旋轉(zhuǎn)噴槍：主要處理大面積、形狀較復(fù)雜的材料，處理面積范圍20-80mm，可與原有的生產(chǎn)流水線搭配，實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)在線生產(chǎn)，節(jié)約人力成本。
（3）控制系統(tǒng)：
控制系統(tǒng)作用在于控制SPA-5800大氣等離子清洗機(jī)的運(yùn)行，以及整體系統(tǒng)的保護(hù)。

4、產(chǎn)品規(guī)格 

2.5.2電源尺寸圖

三、規(guī)格要求
3.1 廠務(wù)規(guī)格要求

3.2 配置清單

注：耗材的使用壽命時(shí)間與現(xiàn)場(chǎng)的使用條件有關(guān)系，以下壽命時(shí)間僅供參考。